Esimesed ametlikud andmed Aegviidu kohta pärinevad aastast 1796 – krahv Mellini koostatud Liivimaa kaardilt, kuhu oli kantud kohanimi Aegwid. 18. sajandil oli Aegviidus Lehtse mõisa jahi- ja karjamõis Charlottenhof. 1820. aastal valmis Lehtse mõisa paruni poolt ehitatud hobupostijaama hoone (praegu koolimaja hoone), mis oli mõeldud mööda Piibe maanteed liikuvate postitõldade puhke- ja teenindamiskohaks. Samal ajal ehitati ka Lehtse mõisa paruni jahiloss (praegune rahvamaja). Tallinn-Peterburi raudtee rajamisega 1870. aastal ehitati raudteejaamahoone koos vajalike kõrvalhoonetega ning elamud raudteelastele. Kuna esialgse plaani järgi pidi Aegviidust saama raudtee sõlmpunkt, siis ehitati siia ka depoo. Hiljem see otsus muudeti ja raudtee sõlmpunktiks sai Tapa. Raudtee ehitamine tõi kaasa Aegviidu kasvu ja elutegevuse elavnemise, raudteejaama ümbrusesse metsa hakkasid kerkima suvemajad. 1890. aastal ehitati Aegviidu surnuaeda Ambla kiriku juurde kuuluv kabel. Aegviidus valmis 1896. aastal Lehtse mõisniku poolt ehitada lastud kirik. 1996. Aastal tähistas kirik oma 100. Aastapäeva. Samal ajal pandi nurgakivi uuele kogudusehoonele.
20. sajandi alguseks olid Aegviidus olemasolevatele hoonetele lisandunud postkontor, apteek, kauplus. Aegviidu juures asuvas rabas toimus sel ajal turba kaevandamine, turbast valmistati peamiselt Peterburi jaoks soojus-isolatsiooniplaate. 1917. aastal kinkis Lehtse parun oma jahilossi kohalikule haridusseltsile, kohe avati selles hoones kool. 1926. aastast sai Aegviidu suvitusaleviku õigused ning muutus populaarseks suvituskohaks. 1937-38. a. ehitati Nelijärvele Turistidekodu. II maailmasõja järgsetel aastatel alevi areng aeglustus, areng sõltus peamiselt kohalike ettevõtete tegevusest. Suurimateks tööandjateks nõukogude perioodil olid metsamajandus- ja metsatööstusettevõtted.
1945. aastal sai Aegviidu aleviks, varem oli Aegviidu Järva maakonna Lehtse valla koosseisus. 1950. aastal läks Aegviidu alev Tapa rajooni, 1962 Paide rajooni ning sama aasta lõpus Harju rajooni koosseisu. Aegviidu alevile anti omavalitsuslik staatus 20. juunil 1991, alevile anti valla staatus 25. augustil 1993. Aegviidu valla praegused piirid on välja kujunenud peamiselt II maailmasõja järgsetel aastatel, vastavalt Aegviidu alevi arengule ja vajadustele.